[发明专利]用于制备含有清洁腔的真空绝缘玻璃VIG单元的方法及装置

摘要

提供一种用于清洁真空绝缘玻璃组件的腔的方法和装置，其中，将含有臭氧的清洁气体混合物引入至真空绝缘玻璃组件的腔中并使其与残余的材料反应，例如碳氢化合物和/或聚合物。将反应的碳氢化合物和/或聚合物与任何残余的清洁气体混合物一起从真腔中去除。该清洁方法，优选是在环境温度或至少250℃温度以下被执行。该臭氧清洁周期可被重复多次，且之后进行附加的其他气体的净化，例如，氮。此外，可通过加热、射频RF等离子、电晕放电、紫外线灯和/或类似等来提供附加的能源。

主权项

一种制备真空绝缘玻璃单元的方法，所述方法包括以下步骤：提供用于所述真空绝缘玻璃单元的第一和第二玻璃基片，所述玻璃基片之间具密封和腔；将含有臭氧的清洁气体混合物泵送至所述腔内；以及将经所述清洁气体混合物反应所生成的化合物和残余的清洁气体从所述腔中去除，其中将所述含有臭氧的清洁气体混合物的至少一部分在所述腔中维持10‑15秒。