[发明专利]掩模单元和蒸镀装置有效
| 申请号： | 201380035621.7 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN104428439A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 越智贵志;川户伸一;大崎智文;二星学;小坂知裕;塚本优人;菊池克浩 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 掩模单元(1)在俯视时Y方向上没有被梁部(22)覆盖的开口部(S)的开口长度总和在X方向的任意位置均相等，梁部(22)的与蒸镀掩模(10)接触的部分不沿着Y方向架在框部(21)上，而连续或断续地横切Y方向。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模单元，其特征在于，包括：具有开口部的蒸镀掩模；和保持所述蒸镀掩模的蒸镀掩模保持部件，所述蒸镀掩模保持部件的一部分与所述蒸镀掩模的下表面接触，并且，从与所述蒸镀掩模的掩模面垂直的方向看时，在所述蒸镀掩模的开口部中的第一方向的任意位置，与该第一方向正交的第二方向上的没有被所述蒸镀掩模保持部件覆盖的开口部的开口长度总和均相等，并且，所述蒸镀掩模保持部件在所述蒸镀掩模的边缘部以外的部分具有连续或断续地横切所述第二方向地与所述蒸镀掩模的下表面接触的接触部，另一方面，所述蒸镀掩模保持部件在所述蒸镀掩模的边缘部以外的部分不具有从所述蒸镀掩模中的所述第二方向的一端至另一端连续的接触部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于夏普株式会社，未经夏普株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380035621.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
