[发明专利]用于机电系统装置的腔衬里在审
| 申请号： | 201380036043.9 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104428240A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 桑德迪普·K·吉里 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 宋献涛 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供用于具有改进的电气性质和装置使用寿命的机电系统装置的系统、方法和设备。在一个方面中，保形抗静摩擦层在机电系统设备的腔内形成于粗糙表面上。所述保形抗静摩擦层可包含电介质层。所述保形抗静摩擦层可包含形成于所述电介质层上的自组装单层SAM。所述保形抗静摩擦层可复制所述保形抗静摩擦层沉积于其上的表面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机电 系统 装置 衬里 | ||
【主权项】：
一种机电系统设备，其包括：第一电极；第二可移动电极，其通过腔与所述第一电极分开，其中所述电极中的一者与所述腔之间的表面是粗糙表面；及保形抗静摩擦层，其在所述腔内形成于所述粗糙表面上及所述电极中的另一者上。
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