[发明专利]高功率脉冲涂装方法

摘要

本发明涉及一种用于借助于雾化目标材料涂装衬底的方法，其中包括下列步骤‑在涂装室中以功率脉冲施加由第一材料制成的第一溅射目标，借助于功率脉冲在第一时间间隔期间将第一能量量传递到溅射目标上，其中对此最大功率密度超过50W/cm2并且优选超过500W/cm2‑在涂装室中以功率脉冲施加与第一材料不同的第二材料制成的第二溅射目标，借助于功率脉冲在第二时间间隔期间将第二能量量传递到溅射目标上，其中在此最大功率密度超过50W/cm2并且优选超过500W/cm2其特征在于，第一能量量与第二能量量不同。

主权项

一种用于借助于雾化目标材料涂装具有要涂装的衬底表面的衬底的方法，其中包括下列步骤：‑在涂装室中以功率脉冲施加由第一材料制成的在涂装源上布置的第一溅射目标，借助于所述功率脉冲在第一时间间隔期间将第一能量量传递到溅射目标上，其中对此最大功率密度超过50W/cm2，‑在所述涂装室中以功率脉冲施加与第一材料不同的第二材料制成的在另外的涂装源上布置的第二溅射目标，借助于所述功率脉冲在第二时间间隔期间将第二能量量传递到溅射目标上，其中在此最大功率密度超过50W/cm2，其特征在于，通过DC功率供应装置借助于开关顺序地并且在没有中断功率输送的情况下将至少相应的功率脉冲施加到所述第一和第二溅射目标上，并且其中将反应气体引入到所述涂装室中，并且通过来自第一溅射目标的材料和来自第二溅射目标的材料与反应气体的反应来在要涂装的衬底表面上施加混合晶层，其中为了施加混合晶层到要涂装的衬底表面上如此操作至少第一和第二溅射目标，分别适合于目标材料的工作点通过相应的功率脉冲的脉冲持续时间分离地调节，使得所述第一时间间隔和所述第二时间间隔持续不同长，并且因此第一能量量与第二能量量不同。