[发明专利]半导体处理系统中的高采样率传感器缓冲

摘要

本发明的实施方式针对半导体处理系统中以高采样率缓冲来自各种传感器的数据的系统及/或方法。此类采样可提供关于诊断系统中导致处理故障的条件的处理的较佳数据。

主权项

一种半导体处理系统，所述系统包含：多个传感器，所述多个传感器测量所述半导体处理系统的物理条件；缓冲器，所述缓冲器与所述多个传感器的至少一分组电气地耦接以在第一采样率储存传感器数据；长期储存装置，所述长期储存装置与所述缓冲器电气地耦接以储存在所述缓冲器处储存的数据，且其中所述长期储存装置具有比所述缓冲器的所述第一采样率更小的第二采样率；以及控制器，所述控制器电气地耦接至所述缓冲器和所述长期储存装置，其中所述控制器经配置使在所述缓冲器处储存的所述传感器数据以比所述第一采样率更小的所述第二采样率储存至所述长期储存装置中；以及所述控制器经配置以响应于故障事件自动地将储存于所述长期储存装置内的数据输出至用户。