[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法在审
申请号: | 201380038855.7 | 申请日: | 2013-08-28 |
公开(公告)号: | CN104508741A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 饭泉京介;山口智行;田本宏一;岩间健太 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;G11B5/73 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 丁香兰;庞东成 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种磁盘用玻璃基板的制造方法,其中,在使用含有包含氧化锆的研磨剂的研磨液对主表面进行研磨时,难以使异物残留于玻璃基板上。所述磁盘用玻璃基板的制造方法包括以下工序:研磨工序,利用研磨液对玻璃基板的表面的至少一部分进行研磨,该研磨液包含以氧化锆为主要成分的磨粒作为研磨剂;清洗工序,对上述研磨工序后的玻璃基板进行清洗;在上述以氧化锆为主要成分的磨粒的表面的一部分形成有作为氧化锆以外的物质的非氧化锆物质,在上述清洗工序中,使上述玻璃基板的经研磨的表面与可溶解上述非氧化锆物质的清洗液接触。 | ||
搜索关键词: | 磁盘 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种磁盘用玻璃基板的制造方法,所述磁盘用玻璃基板的制造方法包括以下工序:研磨工序,利用研磨液对玻璃基板的表面的至少一部分进行研磨,该研磨液包含以氧化锆为主要成分的磨粒作为研磨剂;和清洗工序,对所述研磨工序后的玻璃基板进行清洗;在所述以氧化锆为主要成分的磨粒的表面的一部分形成有作为氧化锆以外的物质的非氧化锆物质,在所述清洗工序中,使所述玻璃基板的经研磨的表面与可溶解所述非氧化锆物质的清洗液接触。
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