[发明专利]缺陷分类装置、缺陷分类方法、控制程序和记录介质无效
| 申请号： | 201380039119.3 | 申请日： | 2015-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN104508469A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 山田荣二 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G02F1/13;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 缺陷分类装置(1)具备：分类指标算出部(14)，其算出表示作为缺陷区域的一部分的外周区域中包含的像素的颜色和作为缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的附近区域的像素的颜色之间的差异的特征量；以及缺陷分类部(15)，其基于算出的上述特征量将上述缺陷区域的缺陷分类为膜内异物或者膜上异物。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 分类 装置 方法 控制程序 记录 介质 | ||
【主权项】：
一种缺陷分类装置，是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置，其特征在于，具备：特征量算出单元，其算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色和作为上述缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的非缺陷区域的像素的颜色之间的差异的大小的特征量；以及缺陷分类单元，其基于上述特征量算出单元所算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。
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