[发明专利]用于为等离子体处理产生并维持等离子体的装置有效
| 申请号： | 201380040017.3 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104641448B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | P·奥济梅克;A·克利梅扎克;M·泽莱科斯基;M·戈兰 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 王英,陈松涛 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种装置，用于使用感应耦合RF功率来为等离子体处理产生并维持等离子体。所述装置包括谐振电路，所述谐振电路具有谐振电容和谐振电感；激励电路，所述激励电路用于激励所述谐振电路；耦合元件，所述耦合元件用于将来自电感的RF功率耦合到等离子体腔室中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 产生 维持 装置 | ||
【主权项】：
一种用于为等离子体处理产生并维持等离子体的装置，包括：a.谐振电路，所述谐振电路包括谐振电容和谐振电感；b.激励电路，所述激励电路用于激励所述谐振电路；以及c.耦合元件，所述耦合元件用于将来自所述谐振电感的RF功率耦合到等离子体腔室中，其中，所述装置被配置为使用感应耦合的RF功率来为进行等离子体处理产生并维持等离子体，并且其中，所述谐振电路具有对称结构，所述对称结构包括两个相同的谐振电容器和两个相同的谐振线圈，其中，所述两个相同的谐振电容器各自构成所述谐振电容的一半，所述两个相同的谐振线圈各自构成所述谐振电感的一半。
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