[发明专利]表面增强拉曼散射元件有效
申请号: | 201380040860.1 | 申请日: | 2013-08-09 |
公开(公告)号: | CN104508466B | 公开(公告)日: | 2018-07-17 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;伊藤将师;能野隆文;广瀬真树;吉田杏奈;大藤和人;丸山芳弘;笠原隆;川合敏光;广畑彻;龟井宏记;大山泰生 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;B82Y15/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | SERS元件(2)包括:基板(21),其具有表面(21a);细微结构部(24),其形成于表面(21a)上,且具有多个柱(27);导电体层(23),其形成于细微结构部(24)上,且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部(20)。导电体层(23)具有以沿着表面(21a)的方式形成的基底部(28)、及在与柱(27)的各个对应的位置自基底部(28)突出的多个突出部(29)。在基底部(28),在自柱(27)突出的方向观察的情况下以包围柱(27)的各个的方式形成有多个槽(28a),突出部(29)的端部(29a)位于所对应的槽(28a)内。 | ||
搜索关键词: | 表面增强拉曼散射 导电体层 细微结构 突出部 光学功能部 方向观察 基板 包围 | ||
【主权项】:
1.一种表面增强拉曼散射元件,其特征在于,包括:基板,其具有主面;细微结构部,其形成于所述主面上,且具有多个凸部;及导电体层,其形成于所述细微结构部上,且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部,在相邻的所述凸部之间,所述基板的主面是平坦的,所述导电体层具有以沿着所述主面的方式形成的基底部、及在与所述凸部的各个对应的位置自所述基底部突出的多个突出部,在所述基底部,在自所述凸部突出的方向观察的情况下以包围所述凸部的各个的方式形成有多个槽,所述槽自所述基底部的表面朝向所述基板延伸,所述突出部的一部分位于所对应的所述槽内,在所述凸部突出的方向上所述槽的深度为所述基底部的厚度以下。
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