[发明专利]复合传感器及复合传感器模块有效
申请号: | 201380041019.4 | 申请日: | 2013-04-16 |
公开(公告)号: | CN104508441B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 尾岛史一;间瀬光人;櫻井直人 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J5/04 | 分类号: | G01J5/04;G01J5/02;H01L27/146;H04N5/33 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在复合传感器(11)中,热图像传感器(16)的排列区域(R1)与距离图像传感器(31)的排列区域(R2)以从层叠方向看重叠的方式配置。因此,可以在同轴上取得热图像和距离图像,能够抑制热图像与距离图像间的图像偏差。此外,在复合传感器(11)中,通过由第1基板(13)与第2基板(14)的层叠形成的密封体(S1)在真空状态下密封热图像传感器(16)的周围的空间。由此,能够防止距离图像传感器(31)的周围所产生的热对热图像传感器(16)侧造成影响。除此之外,由于排列热图像传感器(16)的基板与排列距离图像传感器(31)的基板不同,因此能够确保设计自由度。 | ||
搜索关键词: | 复合 传感器 模块 | ||
【主权项】:
一种复合传感器,其特征在于,具备:第1基板,其排列有由多个热电元件构成的热图像传感器;以及第2基板,其排列有距离图像传感器,所述距离图像传感器具有根据入射光而产生电荷的电荷产生区域、以及基于预先所赋予的电荷传送信号而将在所述电荷产生区域产生的电荷传送至规定的电荷收集区域的传送电极,所述第2基板以所述热图像传感器的排列区域与所述距离图像传感器的排列区域从层叠方向看重叠的方式层叠在所述第1基板,通过所述第1基板与所述第2基板的层叠,从而形成以所述第1基板为顶板而密封所述热图像传感器的周围的空间的密封体。
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