[发明专利]可光致固化的组合物有效
| 申请号： | 201380041912.7 | 申请日： | 2013-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN104520347A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | D·C·法尔;裘再明 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C08G18/67 | 分类号： | C08G18/67;C08G18/78;C08G18/79;C08G18/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可光致固化的组合物，所述组合物包含光致抗蚀剂组分和烯键式不饱和全氟聚醚。所述组合物实现从光致抗蚀剂中更容易地剥离光掩模。 | ||
| 搜索关键词： | 可光致 固化 组合 | ||
【主权项】：
一种可光致固化的组合物，所述可光致固化的组合物包含：a)光致抗蚀剂组分，和b)由下式表示的全氟聚醚化合物：(RPFPE‑X1‑CO‑NH)x‑R1‑(NH‑CO‑X2‑RUnsatd)y，其中RPFPE表示全氟聚醚基团，X1和X2独立地为‑O‑、‑S‑或‑NR2‑，其中R2为H或C1‑C4烷基，R1为多异氰酸酯的残基，RUnsatd为包含烯键式不饱和聚合型基团的部分，下标x和y各自独立地为1至3，以及c)光引发剂。
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