[发明专利]用于对齐衬底的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于使第一衬底(14)与第二衬底(14’)对齐并且相接触的方法以及具有至少四个检测单元(3，3’，3”，3’”)的对应装置，其中：a)至少两个第一检测单元(3，3”)能够至少沿所述X方向和沿所述Y方向行进，以及b)至少两个第二检测单元(3’，3’”)能够仅仅沿所述Z方向行进。

主权项

一种用于采用下列步骤使第一衬底(14)与第二衬底(14’)对齐并且相接触的方法：‑ 将所述第一衬底(14)固定到第一容纳件(4)上并且将所述第二衬底(14’)固定到设置成与所述第一容纳件(4)相对的第二容纳件(5)上，其中，所述第一衬底和第二衬底(14，14’)以所述第一衬底(14)的第一接触面与所述第二衬底(14’)的第二接触面之间的间距A设置在所述第一容纳件与第二容纳件(4，5)之间，‑ 由至少四个检测单元(3，3’，3”，3’”)来检测所述第一衬底(14)的第一标记(17)和所述第二衬底(14’)的第二标记(17’)，其中：a) 至少两个第一检测单元(3，3”)能够至少沿X方向以及沿横向于所述X方向延伸的Y方向行进，以及b) 至少两个第二检测单元(3’，3’”)在检测时仅仅沿横向于X和Y方向延伸的Z方向行进，‑ 借助所述第一衬底(14)和所述第二衬底(14’)移动经过所述第一容纳件(4)和所述第二容纳件(5)，沿X方向和横向于所述X方向延伸的Y方向相对于所述第二衬底(14’)来对齐所述第一衬底(14)，以及‑ 使已对齐衬底(14，14’)的接触面沿所述Z方向相接触。