[发明专利]真空蒸镀装置以及有机EL装置的制造方法

摘要

本发明涉及具备多个蒸发器的真空蒸镀装置，提出蒸发器和成膜材料的优选的组合。具备成膜室(2)和使成膜材料气化而朝向基材释放的一系列的释放回路(3)。释放回路(3)由蒸发部(10a～10j)、歧管组(6)、成膜材料释放部(13)、闸门部件(8)构成。在成膜材料释放部(13)分布有与歧管部(66、67、68)连通的释放开口(80、81、82)。在释放开口(80、81、82)的开口端附近设有节流件(85、86、87)。节流件(85、86、87)的开口面积针对各个歧管部(66、67、68)而不同。考虑将成膜材料(16a～16j)的需要的膜厚近似的放入相同组的蒸发部(10a～10j)。

主权项

一种真空蒸镀装置，其具有能够减压且能够设置基材的成膜室、和设有多个向基材释放成膜材料的蒸气的释放开口的成膜材料释放部，从成膜材料释放部释放成膜材料的蒸气而在基材上成膜，所述真空蒸镀装置的特征在于，具备存在多个释放系统的流路结构，在所述释放系统中具有多个使成膜材料蒸发的蒸发部，并且一个所述释放系统是连接由1个或者多个蒸发部构成的一组的蒸发部组与由多个释放开口构成的一组的开口组连接而形成的，所述真空蒸镀装置构成为，在每个所述蒸发部存在主开闭阀，打开该主开闭阀来向成膜材料释放部导入由蒸发部产生的蒸气，并从成膜材料释放部释放成膜材料的蒸气而在基材上成膜，所述蒸发部组是以使各个成膜材料的蒸气在单位时间内的目标释放量近似的成为一个组的方式选择而成的。