[发明专利]金属氧化物被膜用涂布液以及金属氧化物被膜

摘要

本发明提供一种形成具有足够保护ITO等透明电极的硬度、具有良好的成膜性、且能够通过光刻来形成图案的被膜的金属氧化物被膜用涂布液。本发明的金属氧化物被膜用涂布液是在式(III)所示的金属盐的存在下，将式(I)所示的金属醇盐、和式(IIA)或式(IIB)所示的有机锡化合物在有机溶剂中水解、缩聚，再添加析出防止剂而得的金属氧化物被膜用涂布液。M1(OR1)n (I)(M1为Si、Mg、Zn、Ti、Ta、Zr、B、In、Bi或Nb。R1为碳数1～5的烷基。n为2～5的整数)。Sn(OOCR2)2 (IIA)(R2为可被氟原子取代、或可具有杂原子的碳数1～20的烷基)Sn(R3COCHCOR4)2 (IIB)(R3、R4为可被氟原子取代、或可具有杂原子的碳数1～20的烷基)M3(X)k (III)(M3为Al、In、Zn、Zr、Bi、La、Ta、Y或Ce。X为氯、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或它们的碱式盐，k为M3的价数)。

主权项

一种金属氧化物被膜用涂布液，其特征在于，在下式（III）所示的金属盐的存在下，将含有下式（I）所示的金属醇盐、和下式（IIA）或式（IIB）所示的有机锡化合物的混合物在有机溶剂中水解、缩聚，再添加析出防止剂而得；所述有机锡化合物的含量相对于所述金属醇盐的摩尔数和所述有机锡化合物的摩尔数的总计100摩尔％，为30摩尔％以上；相对于所述金属醇盐的金属原子（M1）的摩尔数（m1）和所述有机锡化合物的金属原子（Sn）的摩尔数（mSn）和所述金属盐的金属原子（M2）的摩尔数（m2）的总计，所述金属盐的金属原子（M2）的摩尔数（m2）的摩尔比（m2/（m1+mSn+m2）为0.01～0.7；M1（OR1）n   （I）式（I）中，M1表示选自硅（Si）、镁（Mg）、锌（Zn）、钛（Ti）、钽（Ta）、锆（Zr）、硼（B）、铟（In）、铋（Bi）以及铌（Nb）的至少1种以上金属，R1表示碳数1～5的烷基，n表示2～5的整数；Sn（OOCR2）2   （IIA）式（IIA）中，R2表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基；Sn（R3COCHCOR4）2   （IIB）式（IIB）中，R3以及R4表示可被氟原子取代、且可具有杂原子的碳数1～20的烷基；M2（X）k           （III）式（III）中，M2表示选自铝（Al）、铟（In）、锌（Zn）、锆（Zr）、铋（Bi）、镧（La）、钽（Ta）、钇（Y）以及铈（Ce）的至少1种以上金属，X表示氯、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸、乙酰丙酮化物或它们的碱式盐，k表示M2的价数。