[发明专利]像差校正光学单元及激光显微镜

摘要

在光学系统中被配置的像差校正光学单元(3)的特征在于，由具有偏振特性的第一相位调制元件(3a)和第二相位调制元件(3c)、可变波长板(3b)构成，并校正光学系统的像差，其中，该可变波长板(3b)被配置于第一相位调制元件及第二相位调制元件之间，且两个相位调制元件与其光学轴具有规定角度。

主权项

一种像差校正光学单元，所述像差校正光学单元是校正光学系统所产生的波像差的像差校正光学单元，其特征在于，包括：第一相位调制元件，其具有光学轴，对于通过所述光学系统的光束之中的与所述光学轴平行的偏振成分，校正所述光学系统的波像差的规定成分；第二相位调制元件，其具有光学轴，对于所述光束之中的与所述光学轴平行的偏振成分，校正所述波像差的所述规定成分；可变波长板，其被配置于所述第一相位调制元件和所述第二相位调制元件之间，具有光学轴，并能够变更所述光束的偏振特性，所述可变波长板被配置为，所述可变波长板的光学轴与所述第一相位调制元件的光学轴或所述第二相位调制元件的光学轴形成规定角度，所述可变波长板根据施加的电压，使赋予到所述光束的相位调制量改变。