[发明专利]转子及具备该转子的真空泵

摘要

提供一种适合实现真空泵的排气性能的提高和防止从取平衡部的碎片的脱落的转子、以及具备该转子的真空泵。提供一种适合实现真空泵的排气性能和取平衡的作业性的提高、及防止从取平衡部的碎片的脱落、以及碎片万一脱落时的早期排出、早期发现的真空泵的转子等。真空泵（P1）的转子（6）具备第1及第2筒体（61、62）、和将两个筒体（61、62）的端部彼此连结的连结部（60）。第1筒体（61）在其外周面上具备多个旋转叶片（13），并且通过将这些多个旋转叶片（13）沿着真空泵轴心与多个固定叶片（14）交替地配置，构成叶片排气部（Pt）。第2筒体（62）通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路（R1），构成螺纹槽排气部（Ps）。并且，在上述转子（6）中，在第1筒体（61）或连结部（60）的内周面上设置转子（6）的取平衡部（K1），在该取平衡部（K1）上设置质量附加机构（M）。

主权项

1.一种转子，是将腔室的气体排气的真空泵的转子，其特征在于，上述转子具备：第1及第2筒体；和连结部，将上述两个筒体的端部彼此连结；上述第1筒体在其外周面上具备多个旋转叶片，并且通过将这些多个旋转叶片沿着真空泵轴心与多个固定叶片交替地配置，构成叶片排气部；上述第2筒体通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路，构成螺纹槽排气部；在上述第1筒体的内周面或上述连结部的内周面上附加进行上述转子的取平衡的质量，上述内周面不存在随着从附加了上述质量的部分向下部行进而上述内周面的半径变小的部分。