[发明专利]取样夹具、定量分析方法以及分析系统有效

专利信息
申请号: 201380046089.9 申请日: 2013-08-27
公开(公告)号: CN104603596B 公开(公告)日: 2016-11-16
发明(设计)人: 野口道子;尾崎光男;林伸之 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G01N1/04 分类号: G01N1/04;G01N23/223;G01N31/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;李洋
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及取样夹具、定量分析方法以及分析系统。取样夹具对形成在基材上的被膜进行取样,具有取样器,该取样器具有规定曲率的凸面状的取样面,上述取样面具有保持与上述被膜接触而取样得到的被膜的接触面和形成于上述接触面的凹部,上述接触面的面积大于上述凹部的面积,上述取样器的硬度高于上述被膜的硬度。
搜索关键词: 取样 夹具 定量分析 方法 以及 分析 系统
【主权项】:
一种取样夹具,用于对形成在基材或者镀膜上的被膜进行取样,其特征在于,所述取样夹具具有取样器,该取样器具有规定曲率的凸面状的取样面,所述取样面具有保持与所述被膜接触而取样得到的被膜的接触面和形成于所述接触面的凹部,所述接触面的面积大于所述凹部的面积,所述取样器的硬度高于所述被膜的硬度。
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