[发明专利]单晶的制造装置、用于该制造装置的坩埚以及单晶的制造方法有效
| 申请号： | 201380046191.9 | 申请日： | 2013-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN104662211B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 龟井一人;楠一彦;矢代将齐;冈田信宏;森口晃治;大黑宽典;加渡干尚;坂元秀光 | 申请（专利权）人： | 新日铁住金株式会社;丰田自动车株式会社 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 制造装置(10)用于利用溶液生长法制造单晶。制造装置(10)包括晶种轴(28)、坩埚(14)、以及驱动源(26)。晶种轴具有安装有晶种(32)的下端面(28S)。坩埚(14)容纳成为单晶的原料的溶液(15)。驱动源(26)使坩埚(14)旋转，并且使坩埚(14)的转速变化。坩埚(14)的内周面含有横切形状为非圆形的流动控制面(382)。该单晶的制造装置能够强烈地搅拌坩埚所容纳的溶液。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 装置 用于 坩埚 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶的制造装置，其用于利用溶液生长法制造单晶，其中，该制造装置包括：晶种轴，其具有用于安装晶种的下端面；坩埚，其容纳成为所述单晶的原料的溶液；以及驱动源，其使所述坩埚旋转，并且使所述坩埚的转速变化，所述坩埚的内周面包括流动控制面，利用该流动控制面所形成的孔的与轴向垂直的截面形状为非圆形。
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