[发明专利]通过电子回旋共振（ECR）从气态介质产生沿轴线具有高范围的等离子体的设备有效
| 申请号： | 201380046725.8 | 申请日： | 2013-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104620682B | 公开（公告）日： | 2017-09-05 |
| 发明（设计）人： | 贝亚特·施密特;克里斯托弗·埃奥;菲利普·毛林-佩里耶 | 申请（专利权）人： | H.E.F.公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人： | 周靖,郑霞 |
| 地址： | 法国昂德雷*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了通过电子回旋共振(ECR)从气态介质产生沿轴线具有高范围的等离子体的设备，设备包括至少两个同轴波导(4)，每个由中心导体(1)和外部导体(2)形成，以使微波进入处理腔室，其特征在于至少两个电磁波喷射导向器(4)与在一个方向上拉长的磁路(21‑22)相结合，通过产生磁场包围所述波导的磁路能够达到接近所述波导的ECR条件。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 电子 回旋 共振 ecr 气态 介质 产生 轴线 具有 范围 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
一种用于从气态介质通过电子回旋共振ECR产生沿轴线有延长的等离子体的设备，所述设备包括至少两个同轴波导(4)，每个同轴波导由中心导体(1)和外部导体(2)形成，以使微波进入处理腔室，其中，所述至少两个同轴波导与在一个方向上拉长的磁路(21‑22)相结合，通过产生磁场包围所述至少两个同轴波导(4)的所述磁路能够达到接近所述至少两个同轴波导的ECR条件，其中，所述磁路具有接近所述至少两个同轴波导的相反极性(31‑32)的两个磁极，以形成用于电子的磁阱，并且所述两个磁极中的第一磁极形成围绕所述至少两个同轴波导(4)的第一线，而所述两个磁极中的第二磁极形成围绕所述第一线的第二线。
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