[发明专利]用于激光放电管的气体循环回路有效
| 申请号： | 201380048204.6 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104662749B | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | N·查斯坦;J·格雷莱特 | 申请（专利权）人： | 欧洲激光系统和解决方案公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036;H01S3/22;H01S3/223;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 吴鹏,马江立 |
| 地址： | 法国热*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于激光放电管的气体循环回路，其包括气体供应管道(a)及气体排放管道(c)，其中该气体供应管道(a)和/或该气体排放管道(c)在所述激光放电管(b)的纵向方向上是长形的，并且分别藉由入口流分配器、出口流分配器连接至该激光放电管(b)，所述入口流分配器和出口流分配器分别适用于在所述激光放电管(b)的至少一部分上的受控的横向气体入口和横向气体出口，且其中所述入口流分配器和/或出口流分配器包括多个相应的入口通道或出口通道，所述气体循环回路的特征在于，所述气体供应管道(a)的直径与所述入口通道的直径之间的比率、和/或所述气体排放管道(c)的直径与所述出口通道的直径之间的比率至少是2。此外，本发明还涉及包括这样的气体循环回路的激光设备。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 放电 气体 循环 回路 | ||
【主权项】：
一种用于激光放电管的气体循环回路，所述激光放电管具有平的矩形长方体形式，该气体循环回路包括气体供应管道和气体排放管道，其中所述气体供应管道和/或气体排放管道在所述激光放电管的纵向方向上是长形的，并且所述气体供应管道通过入口流分配器连接至所述激光放电管和/或所述气体供应管道通过出口流分配器连接至所述激光放电管，所述入口流分配器适用于在所述激光放电管的至少一部分上的受控的横向气体入口，所述出口流分配器适用于在所述激光放电管的至少一部分上的受控的横向气体出口，且其中所述入口流分配器和/或出口流分配器包括多个相应的入口通道或出口通道，所述气体循环回路的特征在于，所述气体供应管道和气体排放管道位于该激光放电管的相对两侧，所述气体循环回路在电极两侧上提供对激光放电管的两侧的自由接近，所述入口通道和/或所述出口通道是小管，所述入口通道和/或所述出口通道的长度在所述气体供应管道的直径的0.25倍与2.5倍之间，两个连续的入口通道之间的空间等于或大于一个入口通道的直径，和/或，两个连续的出口通道之间的空间等于或大于一个出口通道的直径，多个入口通道和/或多个出口通道在放电管的长度上逐次分开，所述气体供应管道的直径与所述入口通道的直径之间的比率、和/或所述气体排放管道的直径与所述出口通道的直径之间的比率至少是2。
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