[发明专利]测量极化设备上的表面电势的方法无效
| 申请号： | 201380048589.6 | 申请日： | 2013-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN104903731A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 路易·吉罗德;尼古拉·波格丹·贝库;奥利佛·西摩内提;让-路易·尼古拉斯;米歇尔·莫里那利 | 申请（专利权）人： | 兰斯大学 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30 |
| 代理公司： | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人： | 冷文燕;武玉琴 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量极化样品(2)表面电势的方法，其包括如下步骤：使用连接微杆(4)的锥形尖端(3)扫描样品(2)的表面对所述样品(2)的形貌轮廓(11)进行测量，所述微杆(4)在其共振频率由压电激活器(5)激活；将所述锥形尖端(3)放置在距离之前步骤中获得的表面形貌轮廓(11)的恒定距离(d)；测量所述表面的静电势(13)；所述方法的特征在于，所述样品(2)在测量形貌轮廓(11)的步骤中不被极化，但所述样品(2)在测量电势分布(13)的过程中被极化。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 极化 设备 表面 电势 方法 | ||
【主权项】：
一种测量极化样品(2)表面电势的方法，其包括如下步骤：通过使用连接至微杆(4)的锥形尖端(3)扫描所述样品(2)的表面而对所述样品(2)的形貌轮廓(11)进行测量，所述微杆(4)在其谐振频率被压电激活器(5)激活；将所述锥形尖端(3)放置在相对于之前步骤中获得的表面形貌轮廓(11)的恒定距离(d)；测量所述表面的静电势(13)；在所述方法中，所述样品(2)在测量所述形貌轮廓(11)的步骤中不被极化，但所述样品(2)在测量电势分布(13)时被极化。
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