[发明专利]用于质谱仪在高压时的改进性能的射频(RF)离子引导器有效
| 申请号： | 201380049574.1 | 申请日： | 2013-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN104662638B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | G·佩雷尔曼;T·里斯特罗菲 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/06 | 分类号： | H01J49/06;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11484 | 代理人： | 刘彬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述用于质谱仪(MS)系统(100)中使用的离子引导器(200)。所述离子引导器(200)配置为提供反射电动场和直流(DC或静态)电场，以提供对于相当大的质量范围在空间上更禁闭的离子射束。在MS系统(100)的离子源(101)与第一级真空腔室(805)之间提供一些离子引导器(200)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 质谱仪 高压 改进 性能 射频 rf 离子 引导 | ||
【主权项】：
一种质谱仪，其具有保持在第一压力的入口以及保持在比所述第一压力更小的第二压力的区域(211)，所述入口配置为接收离子引导器(102)，其中，所述离子引导器(102)包括：基板(1001)，其包括其上部署的多个电极(1003)，所述基板(1001)在第一端(209)处形成第一开孔(806)并且在第二端(210)处形成第二开孔(807)，其中，所述第一开孔(806)配置为接收处于所述第一压力的离子(802)；用于在相邻成对的所述多个电极(1003)之间施加射频电压的部件，其中，射频电压在所述基板(1001)限定的区域(211)中形成场；用于沿着所述多个电极(1003)中的每一个的长度而施加直流(DC)电压降的部件；以及多个沟道(1004)，其提供在所述基板(1001)中，其中，所述多个沟道(1004)之一提供在所述多个电极(1003)中的相应两个之间。
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