[发明专利]微波加热装置有效
| 申请号： | 201380049589.8 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104704912B | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 内田博;仙田和章;吉田睦 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | H05B6/70 | 分类号： | H05B6/70;H05B6/68;H05B6/78 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 刘航;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种微波加热装置，其在用微波加热包含导体(包括金属氧化物等的金属前驱体)和/或半导体的对象物的情况下能够有效防止火花的产生。所述微波加热装置，以电力线的方向与下述方向一致的方式供给微波，并对该微波进行脉冲宽度控制，向图案的形成面供给脉冲状的微波，所述方向是与形成有图案的平面状基板的、图案的形成面实质上平行的方向，所述平面状基板配置于波导管内，所述图案包含导体、金属氧化物或半导体。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 加热 装置 | ||
【主权项】：
一种微波加热装置，具备：波导管；微波供给单元，其以电力线的方向与下述方向一致的方式供给微波，所述方向是与形成有图案的平面状基板的、所述图案的形成面实质上平行的方向，所述平面状基板配置于所述波导管内，所述图案包含导体、金属氧化物或半导体；和控制单元，其对所述微波供给单元进行脉冲宽度控制，使其向所述图案的形成面供给脉冲状的微波。
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