[发明专利]曝光方法、平板显示器的制造方法和器件制造方法有效
| 申请号： | 201380049848.7 | 申请日： | 2013-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN104662481B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫;原笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 曝光方法包含如下步骤使具有掩模图案的掩模(M)的上表面与掩模导流构件(40)的下表面相对；使掩模(M)以非接触方式悬垂支承在掩模导流构件(40)上；使掩模保持装置(60)保持悬垂支承在掩模导流构件(40)上的掩模(M)；使用掩模保持装置(60)，使掩模(M)在扫描方向上相对于曝光用照明光移动，并且，相对于曝光用照明光而在扫描方向上驱动作为曝光对象物体的基板，将掩模图案转印到基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 方法 平板 显示器 制造 器件 | ||
【主权项】：
一种曝光方法，其包含如下步骤：使具有规定图案的图案保持体的上表面与支承部件的下表面相对，其中，该支承部件能够以非接触方式从重力方向上侧悬垂支承该图案保持体；使所述图案保持体以非接触方式悬垂支承在所述支承部件上；使能够保持所述图案保持体的保持部件保持悬垂支承在所述支承部件上的所述图案保持体；使用所述保持部件，使所述图案保持体至少在规定的2维平面内的扫描方向上相对于能量束移动，并且，相对于所述能量束，在所述扫描方向上驱动曝光对象物体，将所述图案转印到所述曝光对象物体上；在维持所述支承部件对所述图案保持体的悬垂支承的状态下，解除所述保持部件对所述图案保持体的保持；以及使解除了所述保持部件的保持的所述图案保持体的上表面与所述支承部件的下表面分离。
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