[发明专利]数据生成系统以及数据生成方法

摘要

本发明提供一种数据生成系统以及数据生成方法，利用较少的操作工作量，生成用于与基板处理装置的规格相对应并使该基板处理装置工作的高品质的配置数据。该数据生成系统具有：存储部，以层级结构存储互不相同的多个规格以及互不相同的多个配置数据，并且存储表示规格与配置数据的层级之间的关联的关联信息；规格取得部，取得基板处理装置的规格；数据生成部，基于关联信息，从多个配置数据中选择与由规格取得部取得的规格相对应的配置数据，生成用于使具有由规格取得部取得的规格的基板处理装置工作的配置数据。

主权项

1.一种数据生成系统，用于与基板处理装置的规格相对应地生成使所述基板处理装置工作的配置数据，其特征在于，具有：存储部，以层级结构存储互不相同的多个规格以及互不相同的多个配置数据，并且存储表示规格与配置数据的层级之间的关联的关联信息，所述多个规格包含所述基板处理装置的发送地、用户要求以及产品规格，规格取得部，取得所述基板处理装置的规格，数据生成部，基于所述关联信息，从所述多个配置数据中选择与由所述规格取得部取得的规格相对应的配置数据，生成用于使具有由所述规格取得部取得的规格的基板处理装置工作的配置数据；所述存储部将所述多个规格存储在不同的层级以使所述多个规格成为层级结构，并且，将所述配置数据和所述多个规格存储在不同的层级以使所述配置数据和所述多个规格成为层级结构；所述多个规格的层级结构具有从上级开始依次是发送地、用户要求、产品规格的顺序；在所述配置数据和所述多个规格的层级结构中，所述配置数据位于所述多个规格的下级；所述存储部以层级结构存储多个用户要求作为用户要求数据。