[发明专利]基板烧成装置有效
| 申请号： | 201380051084.5 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN104685312A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 山本胜哉 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;F27B17/00;G02F1/1333;G09F9/00 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供当打开开关盖时外部冷气不会流入装置内部、也不会产生凝华物的基板烧成装置。设为如下构成的基板烧成装置(1)：设有打开开关盖(5)后从取放口(4)附近的上方沿着加热室(3)的上边部向下吹出热空气的热空气吹出部(8)，在取放口附近的下方设有抽吸包含被吹出的热空气的氛围气的抽吸部(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 烧成 装置 | ||
【主权项】：
一种基板烧成装置，具备：加热室，其收纳基板，以烧成温度加热基板；以及开关盖，其设于该加热室的基板的取放口，上述基板烧成装置的特征在于，设有从上述取放口附近的上方沿着上述加热室的上边部向下吹出热空气的热空气吹出部，在上述取放口附近的下方设有抽吸包含被吹出的热空气的氛围气的抽吸部。
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