[发明专利]图像生成装置及图像生成方法

摘要

本申请公开了一种生成表示样品的样品图像的图像生成装置。图像生成装置具备：射出激光的激光光源部；将所述激光转换为合波光的转换部，其中，所述合波光是通过来自所述样品的反射而生成的反射光和通过调制所述激光的相位而生成的参照光合波所形成的光；生成与所述合波光的光量相应的第1检测信号的第1信号生成部；生成所述样品图像的图像生成部。所述转换部调制所述相位使所述合波光的所述光量产生周期性变化。所述第1检测信号包含表示所述周期性变化从增加转向减少的信号成分。所述图像生成部利用所述信号成分生成所述样品图像。

主权项

一种图像生成装置，生成表示样品的样品图像，其特征在于包括：激光光源部，射出激光；转换部，将所述激光转换为合波光，其中，所述合波光是通过来自所述样品的反射而生成的反射光和通过调制所述激光的相位而生成的参照光合波所形成的光；第1信号生成部，生成与所述合波光的光量相应的第1检测信号；图像生成部，生成所述样品图像；以及调制部，调制所述相位使所述合波光的所述光量产生周期性变化，其中，所述第1检测信号，包含表示所述周期性变化从增加转向减少的信号成分，所述图像生成部，利用所述信号成分生成所述样品图像。