[发明专利]制造添加有钾的薄膜光电装置

摘要

用于制造薄膜光电装置(100)的方法(200)和沉积区设备(300)，该方法包括：提供一个钾不扩散衬底(110)；形成一个背接触层(120)；形成至少一个吸收层(130)，该吸收层由一种ABC硫族化物材料制成；添加至少两种不同的碱金属；以及形成至少一个前接触层(150)，其中所述至少两种不同的碱金属中的一者是钾并且其中，在形成所述前接触层之后，在从背接触层(120)(不包括背接触层(120))到前接触层(150)(包括前接触层(150))的层区间(470)中，由添加至少两种不同的碱金属产生的包含量对于钾是在500到10000ppm的范围内，并且对于所述至少两种不同的碱金属中的另一者是在5到2000ppm的范围内并且是该钾的包含量的至多1/2并且至少1/2000。该方法(200)和设备(300)对于以高光伏转化效率和更快的生产速率在柔性衬底上更环境友好地生产光伏装置(100)是有利的。

主权项

一种制造薄膜光电装置(100)的方法(200)，该方法包括：提供一个钾不扩散衬底(210，110)；形成一个背接触层(220，120)；形成至少一个吸收层(230，130)，该吸收层由一种ABC硫族化物材料制成，该ABC硫族化物材料包括ABC硫族化物材料三元、四元、五元或多元变体，其中A表示如由国际纯粹与应用化学联合会定义的化学元素周期表的第11族的元素，包括Cu和Ag，B表示该周期表的第13族中的元素，包括In、Ga以及Al，并且C表示该周期表的第16族中的元素，包括S、Se以及Te；添加至少两种不同的碱金属(235)；以及形成至少一个前接触层(250，150)；其中所述至少两种不同的碱金属中的一者是钾(K)，并且其中，在形成所述前接触层(150)之后，在从背接触层(120)，不包括背接触层(120)，到前接触层(150)，包括前接触层(150)的层区间(470)中，由添加至少两种不同的碱金属产生的包含量对于钾是在500到10000个原子/百万原子(ppm)的范围内，并且对于所述至少两种不同的碱金属中的另一者是在5到2000ppm的范围内并且是该钾的包含量的至多1/2并且至少1/2000。