[发明专利]紫外光产生用靶、电子束激发紫外光源、以及紫外光产生用靶的制造方法有效
| 申请号： | 201380055517.4 | 申请日： | 2013-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN104755583B | 公开（公告）日： | 2017-05-17 |
| 发明（设计）人： | 本多庆范;武富浩幸;福世文嗣;河合浩司;高冈秀嗣;市川典男;铃木孝 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | C09K11/00 | 分类号： | C09K11/00;C09K11/79;C09K11/80;H01J63/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 杨琦,黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种紫外光产生用靶，其具备透射紫外光的基板、和设置在基板上接受电子束而产生紫外光的发光层。发光层包含由添加有活化剂的含有Lu和Si的氧化物多晶构成的多晶膜、或者包含由添加有活化剂的含稀土类的铝石榴石多晶构成的多晶膜。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外光 产生 电子束 激发 紫外 光源 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种紫外光产生用靶，其特征在于：具备：透射紫外光的基板；和设置在所述基板上、接受电子束而产生紫外光的发光层，所述发光层包含由添加有活化剂的含有Lu和Si的氧化物多晶构成的多晶膜，所述氧化物多晶包含LPS和LSO中的至少一种，所述活化剂为Pr。
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