[发明专利]研磨用组合物无效
| 申请号： | 201380057157.1 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN104755580A | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 大西正悟;石田康登;平野达彦 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/321;B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种研磨用组合物，其适用于具有金属布线层(14)的研磨对象物的研磨，可以维持高研磨速度且减少高度差缺陷。一种研磨用组合物，其用于具有金属布线层(14)的研磨对象物的研磨，该研磨用组合物包含：金属防腐剂、络合剂、表面活性剂、和水，使用前述研磨用组合物研磨前述研磨对象物后的研磨对象物表面的固体表面能为30mN/m以下。前述表面活性剂优选为阴离子性表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，其用于具有金属布线层的研磨对象物的研磨，所述研磨用组合物包含：金属防腐剂、络合剂、表面活性剂、和水，使用所述研磨用组合物研磨所述研磨对象物后的研磨对象物表面的固体表面能为30mN/m以下。
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