[发明专利]静电夹具在审
| 申请号： | 201380059623.X | 申请日： | 2013-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN104797979A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | P·克洛普;B·梅尔藤斯;A·诺特布姆 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种静电夹具(12)包括电极(2)、位于电极上的阻性材料(6)的层、以及位于阻性材料上的电介质(8)的层，其中静电夹具进一步包括从电介质的层突出的突节(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 夹具 | ||
【主权项】：
一种静电夹具，包括：电极、位于所述电极上的阻性材料的层、以及位于所述阻性材料上的电介质的层，其中所述静电夹具进一步包括从所述电介质的层突出的突节。
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