[发明专利]移动体装置、曝光装置以及器件制造方法

摘要

载物台装置具备平板(30)和晶片台(WST)，该晶片台(WST)搭载于平板(30)上，且在与平板相对的面上形成有喷出口(73)。在晶片台(WST)降落在平板上的状态下，在平板(30)与晶片台(WST)之间形成有气室(72)。加压气体从设置于晶片台主体(22)上的喷出口(73)向气室(72)内喷出，由气室(72)的内压抵消晶片台(WST)的自重。由此，能够以手动方式移动停止在平板上的晶片台。

主权项

1.一种移动体装置，具备：基座部件；移动体，其配置于该基座部件上，能够在该基座部件上进行二维移动；以及磁悬浮方式的平面电机，其具有设置于所述基座部件的定子以及设置于所述移动体的可动元件，在所述基座部件上驱动所述移动体，所述移动体具有移动体主体、框状部件和喷出口，所述框状部件在该移动体主体的与所述基座部件相对的下表面中设置于所述可动元件的周围，该框状部件的与所述基座部件相对的下表面与包含所述可动元件的其它部分为同一面或者与包含所述可动元件的其它部分相比更向所述基座部件侧突出，所述喷出口设置于所述移动体主体的所述下表面的所述框状部件内侧的位置，将从外部供给的加压气体经由设置于所述移动体主体的供气通道向所述基座部件喷出，通过所述基座部件的上表面、所述移动体主体的所述下表面和所述框状部件的内周面，形成相对于外部实质上成为气密状态的封闭的空间。