[发明专利]振动控制的基板传送机械手、系统及方法

摘要

本文的实施方式揭示了振动控制的机械手设备。所述设备包括机械手，所述机械手具有：能操作以输送基板的终端受动器；耦接至机械手的传感器，所述传感器能操作以在机械手输送基板时感测振动，并操作所述机械手以减少支撑基板的终端受动器的振动。在一些实施方式中，在电机驱动电路中提供滤波器以过滤导致终端受动器的不想要的振动的一或更多个频率。本文亦提供振动控制系统及操作所述系统的方法，及其他方面。

主权项

一种振动控制的机械手设备，包括：机械手，所述机械手具有终端受动器，所述终端受动器能操作以输送基板；传感器，所述传感器耦接至所述机械手，所述传感器能操作以在所述机械手输送所述基板时感测振动；及基于由所述传感器测量的数据来减少所述机械手的振动。