[发明专利]带电粒子束装置及其方法

摘要

在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。

主权项

一种带电粒子束装置，其通过向试样照射带电粒子束来生成所述试样的图像，该带电粒子束装置的特征在于，具备：显示装置，其至少显示用于显示所述试样的图像的图像显示部；指示器，其为了进行在所述显示装置的画面上配置的对象的选择或移动操作，而进行在所述画面上显示的光标的操作；第1设定值调整轴显示部，其与所述图像显示部并排配置在所述显示装置的画面上，显示用于调整在所述带电粒子束装置的控制中所使用的至少一个设定值的设定值调整轴的局部；第1调整滑块，其被配置在所述设定值调整轴上，并被设置成通过由所述指示器操作的光标而能够沿着所述设定值调整轴移动；第2调整滑块，其被配置在所述设定值调整轴上，并根据所述设定值调整轴上的位置设定所述设定值；以及控制装置，其是使所述第2调整滑块与基于所述光标的所述第1调整滑块的移动操作联动地沿着所述设定值调整轴移动的控制装置，在所述第1调整滑块位于所述设定值调整轴的所述第1设定值调整轴显示部所显示的范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块的移动距离减小所述第2调整滑块的移动距离，并且在所述第1调整滑块位于所述设定值调整轴的所述第1设定值调整轴显示部所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且所述第2调整滑块位于所述两端部以外的位置的情况下，通过所述光标选择操作了所述第1调整滑块时，不移动所述第1调整滑块，仅使所述第2调整滑块向所述一方的端部的方向移动。