[发明专利]负型感光性树脂组合物、树脂固化膜、分隔壁和光学元件有效
| 申请号： | 201380062334.5 | 申请日： | 2013-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN104823108B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 松浦启吾;川岛正行;高桥秀幸;小林大介 | 申请（专利权）人： | AGC株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G02B5/20;G03F7/027;G03F7/075;H01L51/50;H05B33/12;H05B33/22 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供即使以低曝光量也能充分固化、能对分隔壁上表面赋予良好的拒墨性的负型感光性树脂组合物、在上表面具有良好的拒墨性的树脂固化膜和分隔壁、以及具有在由分隔壁分隔成的开口部均匀涂布墨而精度良好地形成的点的光学元件。一种负型感光性树脂组合物，其含有：具有烯属双键的碱溶性树脂或碱溶性单体(A)、光聚合引发剂(B)、1分子中具有3个以上巯基的硫醇化合物(C)、以及拒墨剂(D)；一种使用该负型感光性树脂组合物而形成的树脂固化膜和分隔壁；以及一种在基板表面具有多个点和位于相邻的点间的该分隔壁的光学元件。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 隔壁 光学 元件 | ||
【主权项】：
一种树脂固化膜，其特征在于，其为形成于基板上的树脂固化膜，在利用使用了Ar溅射离子的X射线光电子能谱法(XPS)进行的所述树脂固化膜的厚度方向的组成分析中，所述树脂固化膜的表面的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值[F/C](i)为0.100～3.000，该[F/C](i)大于表层内部区域的氟原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[F/C](ii)，其中，所述表层内部区域以距所述树脂固化膜的表面4nm厚的位置为起点且以距该表面7nm厚的位置为终点，并且，所述树脂固化膜的表面的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值[S/C](i)、以及所述树脂固化膜的所述表层内部区域的硫原子浓度相对于碳原子浓度的比值的平均值[S/C](ii)为0.001～0.050。
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