[发明专利]能够微细涂布的无机氧化物被膜形成用涂布液以及微细无机氧化物被膜的制造方法

摘要

本发明提供一种适合形成微细的金属氧化物被膜的金属氧化物被膜形成用涂布液。本发明是一种用于通过微细液滴吐出装置进行的涂布的金属氧化物被膜形成用涂布液，含有特定的金属醇盐、特定的金属盐、有机溶剂、水和防析出剂，在全部有机溶剂中含有30质量％以上的选自乙二醇、丙二醇、1,2‐丁二醇、1,3‐丁二醇、1,4‐丁二醇、1,2‐戊二醇、1,3‐戊二醇、1,4‐戊二醇、1,5‐戊二醇、2,4‐戊二醇、2,5‐己二醇、二乙二醇、二丙二醇、三乙二醇、以及N‐甲基吡咯烷酮的至少1种，且表面张力在28mN/m以上。

主权项

一种用于通过微细液滴吐出装置进行的涂布的金属氧化物被膜形成用涂布液，其特征在于，含有下述通式(I)所示的第一金属醇盐、下述通式(II)所示的金属盐、有机溶剂、水和防析出剂，在全部有机溶剂中含有30质量％以上的选自乙二醇、丙二醇、1,2‐丁二醇、1,3‐丁二醇、1,4‐丁二醇、1,2‐戊二醇、1,3‐戊二醇、1,4‐戊二醇、1,5‐戊二醇、2,4‐戊二醇、2,5‐己二醇、二乙二醇、二丙二醇、三乙二醇、以及N‐甲基吡咯烷酮的至少1种，且表面张力在28mN/m以上；M¹(OR¹)_n   (I)M¹表示选自硅、钛、钽、锆、硼、铝、镁以及锌的至少1种金属，R¹表示碳数1～5的烷基或乙酰氧基，n表示2～5的整数；M²(X)_k   (II)M²表示选自铝、铟、锌、锆、铋、镧、钽、钇以及铈的至少1种金属，X表示盐酸、硝酸、硫酸、乙酸、草酸、氨基磺酸、磺酸、乙酰乙酸或乙酰丙酮化物的残基，或它们的碱式盐，k表示M²的价数。