[发明专利]硬化膜的制造方法、硬化膜、液晶显示装置以及有机EL显示装置在审
| 申请号： | 201380063293.1 | 申请日： | 2013-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN104838316A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 佐竹亮;米泽裕之 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;C08F212/14;C08F220/26;C08F220/28;C08F220/56;G03F7/039;G03F7/40;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/22;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京港区*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种硬化膜的制造方法，其可提高硬化膜的分辨力。本发明的硬化膜的制造方法依次包括：(1)将感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；(2)自感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；(3)利用pKa为3以下的溶液对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行洗涤的步骤；(4)利用光化射线对感光性树脂组合物进行曝光的步骤；(5)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及(6)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤；并且所述感光性树脂组合物含有：聚合物成分，包含满足下述(A1)及(A2)的至少一者的聚合物：(A1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物、(A2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元的聚合物及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂。 | ||
| 搜索关键词： | 硬化 制造 方法 液晶 显示装置 以及 有机 el | ||
【主权项】：
一种硬化膜的制造方法，其依次包括：(1)将感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；(2)自感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；(3)利用pKa为3以下的溶液对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行洗涤的步骤；(4)利用光化射线对感光性树脂组合物进行曝光的步骤；(5)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及(6)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤；并且所述感光性树脂组合物含有：(A)聚合物成分，包含满足下述(A1)及(A2)的至少一者的聚合物：(A1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物、(A2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基所保护的残基的构成单元的聚合物及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂。
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