[发明专利]致动机构、光学设备、光刻设备以及制造器件的方法

摘要

一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。

主权项

一种用于提供具有至少两个自由度的运动的致动机构，所述机构包括移动部分和静止部分，所述移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体，所述工作区域位于垂直于所述永磁体的磁化的方向的第一平面中，所述静止部分包括具有极面的至少两个电磁体，所述极面位于与所述第一平面接近平行的第二平面中，所述极面在所述第二平面中的中心位置周围对称分布并且在由所述永磁体的所述磁面横切的整个区域之上延伸，其中每个电磁体是具有第一极面和第二极面的双极电磁体，所述第一极面和所述第二极面在所述第二平面中彼此径向相对地定位，其中电磁体极面的数目为四个，每个所述极面具有圆或环的四分之一的形式，所述极面一起覆盖所述第二平面中的圆形或环形区域。