[发明专利]在嵌入式固化区中固化热可固化材料有效

专利信息
申请号: 201380066399.7 申请日: 2013-12-17
公开(公告)号: CN104937703B 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 耶罗·范·德·布兰德;阿肖克·斯里德哈;安雅·亨肯斯;贡特尔·德烈森 申请(专利权)人: 荷兰应用自然科学研究组织TNO;德国汉高公司
主分类号: H01L21/58 分类号: H01L21/58
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 严芬;宋志强
地址: 荷兰*** 国省代码: 荷兰;NL
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摘要: 本公开涉及一种用于在嵌入式固化区(2)中固化热可固化材料(1)的方法、及由此方法产生的组件。此方法包括提供被部分地布置在组件(9)与基底(10)之间的热传导条(3),在组件(9)与基底(10)之间形成有嵌入式固化区(2)。热传导条(3)从嵌入式固化区(2)延伸至可获得辐射区(7),可获得辐射区(7)与嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无部件(9)和基底(10)。此方法进一步包括借助电磁辐射(6)在可获得辐射区(7)中照射热传导条(3)。通过在热传导条(3)中吸收电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿热传导条(3)的长度从可获得辐射区(7)传导至嵌入式固化区(2),以通过从热传导条(3)发散至嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化热可固化材料(1)。
搜索关键词: 固化区 嵌入式 热传导 辐射区 可固化材料 基底 固化 电磁辐射 导热 发散 传导 照射 延伸 吸收
【主权项】:
1.一种用于固化热可固化材料(1)的方法,所述方法包括:提供被部分地布置在阻隔物之间的热传导条(3),在所述阻隔物之间形成具有所述热可固化材料的嵌入式固化区(2),所述热传导条(3)从所述嵌入式固化区(2)延伸至多个可获得辐射区(7),所述多个可获得辐射区(7)与所述嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无所述阻隔物;借助电磁辐射(6)在所述可获得辐射区(7)中照射所述热传导条(3);其中掩模被布置在所述电磁辐射的光路径中,以选择性地将所述电磁辐射引导在所述多个可获得辐射区处;其中通过在所述热传导条(3)中吸收所述电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿所述热传导条(3)的长度(X)从所述可获得辐射区(7)传导至所述嵌入式固化区(2),以通过从所述热传导条(3)发散至所述嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化所述热可固化材料(1)。
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