[发明专利]在嵌入式固化区中固化热可固化材料有效
申请号: | 201380066399.7 | 申请日: | 2013-12-17 |
公开(公告)号: | CN104937703B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 耶罗·范·德·布兰德;阿肖克·斯里德哈;安雅·亨肯斯;贡特尔·德烈森 | 申请(专利权)人: | 荷兰应用自然科学研究组织TNO;德国汉高公司 |
主分类号: | H01L21/58 | 分类号: | H01L21/58 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 严芬;宋志强 |
地址: | 荷兰*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本公开涉及一种用于在嵌入式固化区(2)中固化热可固化材料(1)的方法、及由此方法产生的组件。此方法包括提供被部分地布置在组件(9)与基底(10)之间的热传导条(3),在组件(9)与基底(10)之间形成有嵌入式固化区(2)。热传导条(3)从嵌入式固化区(2)延伸至可获得辐射区(7),可获得辐射区(7)与嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无部件(9)和基底(10)。此方法进一步包括借助电磁辐射(6)在可获得辐射区(7)中照射热传导条(3)。通过在热传导条(3)中吸收电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿热传导条(3)的长度从可获得辐射区(7)传导至嵌入式固化区(2),以通过从热传导条(3)发散至嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化热可固化材料(1)。 | ||
搜索关键词: | 固化区 嵌入式 热传导 辐射区 可固化材料 基底 固化 电磁辐射 导热 发散 传导 照射 延伸 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种用于固化热可固化材料(1)的方法,所述方法包括:提供被部分地布置在阻隔物之间的热传导条(3),在所述阻隔物之间形成具有所述热可固化材料的嵌入式固化区(2),所述热传导条(3)从所述嵌入式固化区(2)延伸至多个可获得辐射区(7),所述多个可获得辐射区(7)与所述嵌入式固化区(2)保持距离且至少部分地无所述阻隔物;借助电磁辐射(6)在所述可获得辐射区(7)中照射所述热传导条(3);其中掩模被布置在所述电磁辐射的光路径中,以选择性地将所述电磁辐射引导在所述多个可获得辐射区处;其中通过在所述热传导条(3)中吸收所述电磁辐射(6)所产生的热(4a)沿所述热传导条(3)的长度(X)从所述可获得辐射区(7)传导至所述嵌入式固化区(2),以通过从所述热传导条(3)发散至所述嵌入式固化区(2)中的传导热(4b)来固化所述热可固化材料(1)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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