[发明专利]基板支架以及使用该支架的整面成膜基板的制造方法无效
| 申请号： | 201380067187.0 | 申请日： | 2013-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN104884669A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 宫泽英明;赤尾安彦;藤井健辅;高木悟;藤原晃男 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34;H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡烨;金明花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种使整面成膜基板的生产性良好的基板支架，以及使用该基板支架的整面成膜基板的制造方法。本发明涉及一种基板支架以及使用该基板支架的整面成膜基板的制作方法；所述基板支架是保持对第一主面进行整面成膜的基板的基板支架，具备支架单元和载体；所述支架单元由单元基体和密合层构成，该单元基体为具备面积小于上述基板主面的主面的板状构件，上述密合层固定在上述单元基体的第一主面上、具有对上述基板的第二主面进行附着的剥离性表面；所述载体具有面积大于上述单元基体的主面的单元固定面、上述单元固定面和上述单元基体的第二主面对面相向、多个上述支架单元固定在上述单元固定面上。 | ||
| 搜索关键词： | 支架 以及 使用 整面成膜基板 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板支架，它是保持对第一主面进行整面成膜的基板的基板支架，其特征在于，具备：支架单元，该支架单元由单元基体和密合层构成，该单元基体为具备面积小于所述基板主面的主面的板状构件，所述密合层固定在所述单元基体的第一主面上、具有对所述基板的第二主面进行附着的剥离性表面；和载体，该载体具有面积大于所述单元基体的主面的单元固定面、所述单元固定面和所述单元基体的第二主面对面相向、多个所述支架单元固定在所述单元固定面上。
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