[发明专利]硬化性树脂组合物、压印用树脂模具、光压印方法、半导体集成电路的制造方法及微细光学元件的制造方法在审
| 申请号： | 201380068336.5 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104884487A | 公开（公告）日： | 2015-09-02 |
| 发明（设计）人： | 和田理沙;大幸武司 | 申请（专利权）人： | 东洋合成工业株式会社 |
| 主分类号： | C08F299/06 | 分类号： | C08F299/06;B29C59/02;H01L21/027;B29K33/04 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明的硬化性树脂组合物的特征在于含有式(1)所表示的氟化(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯。 |
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| 搜索关键词： | 化性 树脂 组合 压印 模具 方法 半导体 集成电路 制造 微细 光学 元件 | ||
【主权项】：
一种硬化性树脂组合物，其特征在于：含有式(1)所表示的氟化(甲基)丙烯酸氨基甲酸酯，[化1]![]()
(式中，R1、R2、R3及R4分别独立地表示氢原子或甲基，x及y分别独立地表示1或2，n表示1至10的整数；其中，在x及y均为1的情况下，R3及R4分别表示氢原子，在x为1且y为2的情况下，R3表示氢原子且R4表示甲基，在x为2且y为1的情况下，R3表示甲基且R4表示氢原子，在x及y均为2的情况下，R3及R4分别表示甲基)。
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