[发明专利]第5族金属氧代-烷氧代络合物、其制造方法以及第5族金属氧化物膜的制作方法

摘要

提供对于制作第5族金属氧化物膜而言为有用的化合物。其为下述通式(A)所示的第5族金属氧代-烷氧代络合物，制备含有该化合物和有机溶剂的制膜用材料溶液，使用该制膜用材料溶液，可以制作第5族金属氧化物膜。M_α(μ₄-O)_β(μ₃-O)_γ(μ-O)_δ(μ-OR^A)_ε(OR^A)_ζ(R^AOH)_ηX_θY_ι   (A)(式中，M表示铌原子等、R^A表示烷基、X表示亚烷基二氧基、Y表示羧基等、α表示3～10、β表示0～1、γ表示0～8、δ表示2～9、ε表示0～6、ζ表示6～16、η表示0～4、θ表示0～2、ι表示0～6的整数)。

主权项

一种第5族金属氧代‑烷氧代络合物，其特征在于，其用通式（1）、化学式（3）、化学式（4）或化学式（5）表示：M_A（μ₄‑O）_B（μ₃‑O）_C（μ‑O）_D（μ‑O^tBu）_E（O^tBu）_F     （1）式（1）中，M表示铌原子或钽原子；A、B、C、D、E、F分别表示10、1、8、8、0、16或者9、1、5、9、1、14的数值，