[发明专利]用于光瞳成像散射测量的变迹法

摘要

本发明涉及用于光瞳成像散射测量的各种变迹方案。在一些实施例中，系统包含安置于照明路径的光瞳平面内的变迹器。在一些实施例中，所述系统进一步包含经配置以用变迹照明的至少一部分来扫描样本的表面的照明扫描仪。在一些实施例中，所述系统包含经配置以提供四极照明功能的变迹光瞳。在一些实施例中，所述系统进一步包含变迹收集场光阑。本文中描述的各种实施例可经组合以实现某些优点。

主权项

1.一种用于执行光学计量的系统，其包括：载台，其经配置以支撑样本；至少一个照明源，其经配置以提供沿照明路径的照明；变迹器，其安置于所述照明路径的光瞳平面内，所述变迹器经配置以使沿所述照明路径导引的照明变迹；照明扫描仪，其沿所述照明路径安置，所述照明扫描仪经配置以重新导引照明并且用所述变迹照明的至少部分来扫描所述样本的表面，其中所述照明扫描仪是光学元件；照明场光阑，其沿所述照明路径安置，所述照明场光阑经配置以阻止沿所述照明路径导引的照明的部分扫描所述样本的所述表面；至少一个检测器，其经配置以检测沿收集路径从所述样本的所述表面散射、反射或辐射的照明的部分；收集场光阑，其沿所述收集路径安置，所述收集场光阑经配置以阻止沿所述收集路径导引的照明的部分被检测；及计算系统，其通信地耦合到所述至少一个检测器，所述计算系统经配置以基于照明的所述所检测部分而确定所述样本的至少一个空间属性。