[发明专利]料浆和/或化学共混物供给装置

摘要

本发明提供了一种适于向半导体制造设施中的化学机械平面化(CMP)工具或其它工具提供料浆和/或化学共混物的料浆和/或化学共混物供给装置、相关工艺、使用方法和制造方法。所述料浆和/或化学共混物供给装置包括以下的一者或多者：进料模块、共混模块、分析模块和分配模块。

主权项

1.一种料浆和/或化学共混物供给装置，所述装置包括共混模块，所述共混模块合并三个或更多个流动的组分流以在管中形成共混料浆和/或化学共混物，其中所述共混模块包括共混模块泵和用于每一组分流的管并在所述组分管的至少三个的每一个中包括至少一个流量控制器以控制所述组分的流率，并且其中所述组分管连接且合并成单个管以在所述共混模块泵上游形成所述共混料浆和/或共混的化学共混物流；所述装置进一步包括：分配模块，其中至少一部分来自所述共混模块的共混料浆或化学共混物流流至分配模块；所述分配模块包括一个或多个分配罐和一个或多个分配模块泵；任选的进料模块，所述进料模块包括第一泵和至少一个用以容留生料浆的进料罐，所述第一泵用于将生料浆从料浆供给容器输送至所述进料罐，所述进料模块还包括至少一个循环回路和连接至所述至少一个进料罐的所述至少一个循环回路中的第二泵，所述第二泵用于从所述进料罐将所述生料浆泵送通过所述循环回路并回到所述进料罐，其中所述循环回路还包括当所述共混模块正在共混料浆时将仅一部分生料浆从所述循环回路供应至所述共混模块的管，所述循环回路还包括背压控制器和压力传感器，所述压力传感器测量所述循环回路中的压力，所述压力被用来调节所述背压控制器中的阀门以保持所述生料浆连续地循环通过所有循环回路；和任选的分析模块，所述分析模块与所述共混模块流体连通，并且其中至少一部分所述共混料浆或化学共混物流从所述共混模块流至所述分析模块并在所述分析模块中被分析，所述分析模块包括一个或多个分析装置，所述分析装置选自在线液体颗粒计数器、粒度分布分析仪、pH传感器、过氧化氢传感器、密度传感器和电导传感器。