[发明专利]感光树脂组合物及利用该组合物形成图案的方法有效
| 申请号： | 201380071394.3 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104937491B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 尹赫敏;朴廷敏;金智贤;李政洙 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/028;G03F7/26;H01L21/027 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 朱健;陈国军 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光树脂组合物。本发明一实施例的感光树脂组合物通过使用肟类光起始剂、多官能性单体、三聚氰胺交联剂、硅烷偶联剂，可形成能同时满足解析度和黏着力等性质的有机绝缘膜。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 利用 形成 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感光树脂组合物，包含有：/n通过使不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物，与烯烃类不饱和化合物或所述烯烃类不饱和化合物的混合物进行共聚，所形成的丙烯酸类共聚物；/n由以下化学式6、7或8表示的光起始剂；/n多官能丙烯酸酯低聚物；/n具有乙烯性不饱和键的多官能性单体；/n三聚氰胺交联剂；以及/n硅烷偶联剂；/n其中，使5重量份至40重量份的所述不饱和羧酸、所述不饱和羧酸酐、或所述不饱和羧酸和所述不饱和羧酸酐的混合物，与60重量份至95重量份的所述烯烃类不饱和化合物或所述烯烃类不饱和化合物的混合物进行共聚，并去除未反应单体后获得的所述丙烯酸类共聚物的含量为100重量份；/n所述光起始剂的含量为0.1重量份至30重量份；/n所述多官能丙烯酸酯低聚物的含量为1重量份至50重量份；/n所述具有乙烯性不饱和键的多官能性单体的含量为1重量份至50重量份；/n所述三聚氰胺交联剂的含量为0.1重量份至30重量份；以及/n所述硅烷偶联剂的含量为0.1重量份至30重量份；/n[化学式6]/n
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