[发明专利]用于在衬底之间转移膜的方法和装置

摘要

公开了一种方法，该方法包括在第一衬底的至少一部分表面上形成至少一层材料，其中所述至少一层材料的第一表面与所述第一衬底接触从而限定一界面；将第二衬底附着于所述至少一层材料的第二表面上；在所述界面处形成气泡；以及施加机械力；从而将所述第二衬底和所述至少一层材料从所述第一衬底共同地分离。还描述了相关装置。

主权项

一种用于将至少一层材料从第一衬底转移至第二衬底的方法，包括：在第一衬底的至少一部分表面上形成至少一层材料，其中所述至少一层材料的第一表面与所述第一衬底接触从而限定一界面；将第二衬底附着于所述至少一层材料的第二表面上；通过下述在所述界面处形成气泡：形成包括水和电解质的溶液，至少将所述界面沉浸在所述溶液中，在所述第一衬底、至少一层材料以及第二衬底处形成阴极，以及在所述溶液中远离所述阴极并且接近所述第二衬底和至少一层材料从所述第一衬底分离的分离点的位置处放置阳极；将电源连接至所述阴极和阳极，并且使所述电源产生的电流流过所述溶液；以及施加机械力；从而将所述第二衬底和所述至少一层材料从所述第一衬底共同地分离；其中以供应轧辊的形式提供所述第一衬底；所述至少一层材料以连续的方式形成在所述第一衬底上；所述第二衬底以连续的方式被施加至所述至少一层材料的所述第二表面。