[发明专利]共聚焦测量装置

摘要

本发明提供利用共聚焦光学系统来多点测量测量对象物(200)的位移的共聚焦测量装置(100)。共聚焦测量装置(100)具有：光源(21)、头部(10)、分光器(23)以及摄像元件(24)。共聚焦测量装置(100)，利用多个头部(10)将产生轴向色差的光照射至测量对象物(200)，并使聚焦于测量对象物(200)的光通过，再利用分叉光纤以及光纤(11)使通过多个头部(10)的光入射至一个分光器(23)。进一步地，共聚焦测量装置(100)利用沿着分光部的分光方向一维排列构成的摄像元件(24)，来接收分离出的光，利用控制电路部(25)根据摄像元件(24)所接收的光来求出与多个头部(10)的每一个对应的峰波长。

主权项

一种共聚焦测量装置，其特征在于，具有：光源，出射多个波长的光；多个共聚焦光学部，使得从所述光源出射的光产生轴向色差，使产生该轴向色差的光照射至测量对象物，并且使聚焦于所述测量对象物的光通过；一个分光部，使光按照各个波长分离；导光部，使通过所述多个共聚焦光学部的光入射至所述分光部；受光部，沿着所述分光部进行分光的分光方向来一维排列受光元件，所述受光元件用于接收经所述分光部分离的光；以及控制部，根据所述受光部所接收的光，来求出分别与所述多个共聚焦光学部中的每个共聚焦光学部对应的峰波长。