[发明专利]细微图案化用表面化学处理装置

摘要

提供一种通过提高作为溶质(32)溶解在溶液(31)中的分子相对于固相表面(1)的固定化的效率、且可靠地抑制溶液(31)在固相表面(1)扩散从而能够使固定化面积微小化的细微图案化用表面化学处理装置。本发明的装置包括第1管路(11)，其一端开口(11a)，另一端连通于液体供给单元(14)；第2管路(12)，其一端以包围该第1管路(11)的开口(11a)的周围的方式开口(12a)，另一端连通于液体抽吸单元(16)；以及移动机构(21)，其用于使该第1管路(11)的开口(11a)和第2管路(12)的开口(12a)与作为图案化对象的固相表面(1)相对移动，通过一边自第1管路(11)的开口(11a)排出图案化溶液(31)，一边自第2管路(12)的位于第1管路(11)的开口(11a)的周围的开口(12a)将该溶液(31)与周围的液相(2)或气相一起抽吸，从而能够防止溶液(31)在全方位上的渗出，能够进行由细微图案而成的表面化学处理。

主权项

一种细微图案化用表面化学处理装置，其用于对置于气相或液相中的固相的表面实施所需图案的化学处理，其特征在于，该细微图案化用表面化学处理装置包括：第1管路，其一端开口，另一端与供给用于与上述固相的表面反应而对该表面进行化学处理的图案化溶液的液体供给单元连通；鞘液供给用管路，其用于通过朝向上述第1管路供给鞘液从而在该第1管路中形成鞘液流而使上述图案化溶液聚集在中央；第2管路，其一端以包围上述第1管路的开口的周围的方式开口，另一端与液体抽吸单元连通；以及移动机构，在使该第1管路的开口和该第2管路的开口在上述气相或上述液相中与上述固相的表面相对的状态下，该移动机构使各上述开口与上述固相进行相对移动，自上述液体供给单元向上述第1管路内供给上述图案化溶液，且通过自上述鞘液供给用管路供给上述鞘液而使上述图案化溶液聚集在中央，使该图案化溶液自该第1管路的开口排出，并且一边利用上述液体抽吸单元的驱动经由上述第2管路的开口而将自上述第1管路的开口排出的图案化溶液与上述气相或上述液相一起抽吸，一边使上述第1管路的开口和上述第2管路的开口与上述固相进行相对移动从而形成所需图案的化学处理区域。