[发明专利]传感器、其形成方法和控制方法有效
| 申请号： | 201380073884.7 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105209900B | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 阿杰-吉里-普拉喀什·蔻塔帕里;缪建民;牟森·阿萨德涅-法尔德-扎哈若米;迈克尔·特里安塔费卢 | 申请（专利权）人： | 南洋理工大学;麻省理工学院 |
| 主分类号： | G01N27/92 | 分类号： | G01N27/92;G01N11/10 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黎艳;何冲 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 根据本发明的实施例，提供一种用于检测流体的流量参数的传感器。该传感器包括聚合物膜、从所述聚合物膜延伸出来的长形微结构及与所述长形微结构的至少一部分结合的水凝胶，其中，所述水凝胶与所述长形微结构被设置为相互协作，以响应流体流动和流体与传感器的交互而使所述聚合物膜产生位移，而且所述传感器用来基于所述聚合物膜的位移提供指示流体的流量参数的测量值。根据本发明的进一步的实施例，还提供形成该传感器和控制该传感器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 形成 方法 控制 | ||
【主权项】：
1.用于确定流体的流量参数的传感器，该传感器包括：聚合物膜；从所述聚合物膜的表面垂直地延伸出来的长形微结构；和形成在所述聚合物膜上的应变计；其中，所述长形微结构被设置为响应流体流动和流体与传感器的交互而使所述聚合物膜产生位移，其中，所述应变计被配置为基于所述聚合物膜的位移来提供指示所述流体的流量参数的测量值。
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