[发明专利]多栅极谐振沟道晶体管

摘要

实施例包含一种振荡器，所述振荡器包括放大器，其形成在衬底上；多栅极谐振沟道阵列，其形成在所述衬底上，所述多栅极谐振沟道阵列包含(a)包含鳍状物的晶体管，所述鳍状物中的每一个鳍状物具有位于源极节点与漏极节点之间的沟道，并耦合到共用的源极触点和共用的漏极触点；以及(b)共用的第一三栅极和共用的第二三栅极，其耦合到所述鳍状物中的每一个鳍状物并且位于所述源极和所述漏极触点之间；其中当所述第一三栅极和第二三栅极的其中之一被周期性地激活以对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物以第一频率机械地谐振。其它实施例包含一种非平面晶体管，在鳍状物上具有位于所述源极节点和漏极节点之间的沟道和三栅极；其中当所述第一三栅极被周期性地激活以对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物以机械方式谐振。在本文中描述了其它实施例。

主权项

一种机械谐振器设备，包括：包含鳍状物的非平面晶体管，所述鳍状物包含源极节点和漏极节点以及位于所述源极节点与漏极节点之间的沟道；附加的源极节点和附加的沟道，所述附加的源极节点被包含在所述鳍状物中，所述附加的沟道位于所述附加的源极节点与所述漏极节点之间；非平面的第一三栅极，非平面的所述第一三栅极在所述鳍状物上并位于所述源极节点与所述漏极节点之间；包含在所述第一三栅极与所述鳍状物之间的第一绝缘部；非平面的第二三栅极，非平面的所述第二三栅极在所述鳍状物上并位于所述源极节点与所述漏极节点之间；包含在所述第二三栅极与所述鳍状物之间的第二绝缘部；非平面的第三三栅极，非平面的所述第三三栅极在所述鳍状物上并位于所述附加的源极节点与所述漏极节点之间；以及第三绝缘部，所述第三绝缘部被包含在所述第三三栅极与所述鳍状物之间；其中，所述沟道的至少一部分在所述第一三栅极与所述第二三栅极之间延伸，其中，当所述第一三栅极被周期性地激活以对所述鳍状物产生周期性向下的力时，所述鳍状物机械地谐振，并且其中，机械谐振器包含所述源极节点和所述漏极节点，并且耦合到所述机械谐振器的附加的机械谐振器包含所述附加的源极节点和所述漏极节点。